碳化硅陶瓷生產設備

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粉體網:碳化硅陶瓷部件在半導體設備上有哪些重要應用? 劉海林所長:碳化硅陶瓷在半導體制造的前段到后段工藝裝備中都有廣泛應用,例如在研磨拋光吸盤、光刻吸盤、檢測吸盤、精密運動碳化硅陶瓷 碳化硅陶瓷特性與適用分析(文章摘錄于《中國設備管理材質學分析》)一、 研究背景及碳化硅材料 1.1 研究背景隨著科學技術的發展,特別是能源、空間技術的高度發展,二手碳化硅陶瓷換熱器 碳化硅換熱器是一種利用碳化硅陶瓷材料作為傳熱介質的新型換熱器。由于碳化硅陶瓷具有耐腐蝕、耐高溫、高熱導、高硬度、耐磨等優良特性,碳化硅陶瓷換熱器適。

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