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  • 硅晶片雙面研磨機

    晶片雙面研磨機,涉及機械設備領域的研磨機械,特別是一種用于晶片研磨的研磨機。機架上設置有帶有上研磨面的由上盤軸驅動的上研磨盤和帶有下研磨面的下研磨盤,上研磨面相對緊鄰下研磨面,下研磨盤的周邊設置有內齒型的外圈齒輪,在下研磨盤的中部具有一軸接有驅動齒輪的中間轉軸 ...

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    采用本研究確定的多線切割工藝所得的硅切割片,經脫膠清洗、多槽超聲清洗、晶片甩干、晶片檢驗等過程后,利用本單位的雙面研磨機進行了驗證,硅切割片雙面研磨去除量不超過30μm即可獲得表面質量合格的硅研磨 …

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    【摘要】:隨著IC設計技術和制造技術的發展和進步,集成電路芯片的集成度在不斷提高,芯片密度呈指數增長趨勢。硅晶片作為集成電路芯片的主要材料,尺寸越來越大。在分析國內雙面拋光機典型機型原理和特點的基礎上,針對運用于大尺寸甚是直徑400 mm的硅晶片,提出高精度雙面研磨拋光機在機械 ...

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    研磨的設備:研磨機(雙面研磨) 主要原料:研磨漿料(主要成份為氧化鋁,鉻砂,水),滑浮液。 腐蝕:指經切片及研磨等機械加工后,晶片表面受加工應力而形成的損傷層,通常采用化學腐蝕去除。 腐蝕的方式:(a)酸性腐蝕,是普遍被采用的。

    yh2m8436a 高精度立式雙面研磨機 該機床主要用于閥板、閥片、磨擦片、剛性密封圈、氣缸活塞環、油泵葉片等金屬零件的雙面研磨和拋光;也可用于硅、鍺、石英晶體、玻璃、陶瓷、藍寶石、砷化鎵、鈮酸鋰等非金屬硬脆材料薄片零件的雙面研磨和拋光。

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